在线臭氧浓度监测仪主要由低压紫外灯，光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、翰出显示、电路部件构成。
工作原理是通过空气样品以恒定的流速进入仪器的气路系统时，样品空气交替地或直接进入吸收池或经过臭氧涤除器再进入吸收池，此时臭氧对254nm波长的紫外光有特征吸收。
当零空气样品通过吸收池时被光度检测器测定的光强度为10；那么含臭氧的空气样品通过吸收池时，被光度检测器测定的光强度为I。如此每经过一个循环周期，仪器的数据处理系统根据朗伯-比尔定律求出臭的浓度。
检测臭氧浓度的方法：
臭氧氧化可变色试剂浸渍在载体上作为反应剂封装内径的玻璃管内做成检测管，使用时将检测管两端切断，把抽气器接到检测管出气端吸取定量臭氧气体，臭氧浓度与检测管内反应剂柱变色长度成正比，通过刻度值读取浓度值。
在线臭氧浓度监测仪较早应用的是电位测量，即利用氧化还原复合电极通过检测水中氧化还原电位变化而对应计算出溶解臭氧浓度。专用装置内部分析运算处理直接数字显示，只使用Redo电极可先检测水的电位，再通过曲线查出对应的臭氧浓度。
在线臭氧浓度监测仪主要是用于臭氧制备车间（臭氧发生器、臭氧厂房等）、化工、石油、造纸、纺织、制药和香精香料工业、水处理、食品医药灭菌车间等场合。
